低压真空渗碳过程通过计算机对渗碳温度、渗碳时间、丙烷(或甲烷、乙炔等)及氮气的流量和压力进行精确控制，可获得均匀的渗碳层、表面硬度、良好的显微组织及较小的热处理畸变。

实例1输出轴(图7-101)， 材料为20MnCr5钢，渗碳淬火后表面与心部硬度分别为680 ~ 780HV30,有效硬化层深度0.7~1.0mm (550HV1)。
(1)热处理设备与工艺采用ICBP-400型低压真空渗碳炉进行渗碳淬火，其工艺参数见表7-82。
(2) 螺旋伞齿轮畸变检验齿轮轴渗碳淬火畸变检验结果见表7-83。经检测齿轮表而与心部硬度、有效硬化层深度及齿面显微组织均合格。由表7-83可以看出，经低压真空渗碳高压气体淬火后，齿轮轴弯曲畸变大为改善，部分齿轮轴可省去校直工序。

实例2蜗杆轴齿轮、电动机齿轮、离合器齿轮，分别如图7-102a、b、c所示材料均为20CrMo钢，齿轮精度等级8DC，热处理后不再研磨齿面，直接装配，畸变量≤0.05mm,渗碳层深度0.3~0.7mm,硬度57 ~ 63HRC。
(1) 处理设备与工艺采用WZST-45型真空渗碳炉，真空渗碳温度930C，采用高压N,淬火。
(2) 螺旋伞齿轮畸变检验齿轮畸变测量结果见表7-84。由表7-84可知，各类齿轮畸变量很小，可控制在0. 05mm以内。